탄소 나노튜브의 개발은 많은 가능성을 가진 제품을 생산할 수 있다는 장점과 극소 

크기의 소자를 현재는 접근 불가능한 미소단위의 기기에 우수한 기계적, 화학적 성

능을 가진 소자로서 공급할 수 있다는 장점이 있다. 

 

나노튜브는 이렇듯 우수한 성능을 가지고 있지만, 현재 제작시 필요에 맞게 특성을 

맞춤 제작하는 기술은 그다지 발달되지 못한 실정이다. 특히 탄소섬유가 튜브 내에 

배열된 방향과 위치에 따라 특성이 변하는 점을 생각할 때, 맞춤식 탄소나노 튜브의 

제작은 매우 높은 필요성을 갖고 있다고 할 수 있다. 

 

미국 NASA 소속 Ames 연구소는 다중벽(multiwalled) 탄소 나노튜브를 집적회로

의 단자에 연결될 수 있도록 제작할 수 있는 방법을 개발했다. 새로운 제작방법은 탄

소나노 튜브가 집적회로의 단자와 수직방향으로 배열되도록 조정하는 기술이 가장 

핵심이다. 

 

원문의 <그림 1>에 보이는 것과 같이 실리콘 기저판(substarate)과 전기적, 화학적

으로 호환 가능한 SiOx 또는 전기 차단소재(electrically insulating material)를 약 

수백 나노미터 두께로 형성하는 과정으로부터 시작한다. 

 

전기 차단소재가 준비되면 다음 단계는 Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Pt, Ir 등으로 만들어진 

전기회로를 두께 약 1 나노미터에서 2 마이크로미터 두께로 전기 차단 소재 위에 형

성하는 과정이 시작된다. 집적회로가 준비되면 다음 단계는 탄소 나노튜브를 집적회

로의 전극 역할을 하도록 성장시키는 과정인데, 이때 보다 원활한 성장을 돕기 위해 

Ni, Fe, Co와 같은 촉매가 두께 1~30 나노미터로 탄소나노튜브가 성장할 곳에 미리 

입혀진다. 

 

탄소나노튜브는 플라스마를 이용한 화학증착법으로 제작된다. 열을 이용한 화학증

착법을 사용했을 때와는 달리 탄소나노튜브가 서로 엉키거나 고착되는 현상이 발생

하지 않는 장점이 있다. 집적회로와 수직으로 자란 탄소나노튜브는 공간이 SiO2로 

채워진다. 

 

선택사항으로 탄소나노튜브가 사용될 응용제품의 성격에 따라 금속재 단자가 탄소

나노튜브 위에 입혀질 수도 있다. 원문의 <그림 2>는 scanning electro micrograph

(SEM)을 이용해 확대한 탄소나노튜브의 사진이다. 

 

원문에 보이는 탄소나노튜브의 크기는 길이 약 2~10 마이크로미터, 지름 30~200 나

노미터의 크기를 갖고 있다. 탄소나노튜브의 길이와 지름은 성장하는 시간과 촉매제

가 사용된 장소에 따라 달라지는 특성이 있다. 

 

  정보출처   www.nasatech.com  

  원문언어   영어 

  출판날짜   2005년 04월 21일 

  국      가   미국 

  주제분야   과학기술일반(A10) 

  원본파일   http://techtrend.kisti.re.kr/down.jsp?

gubun=trend&down_url=/upload/jpakphd99/CN-Interconnections.doc